愛德華干泵IXL500Q

愛德華干泵IXL500Q

半導體真空泵是半導體各制程中必備的通用設備，應用于單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。

Edwards愛德華真空泵IXH系列，IH系列，IQDP系列，QDP系列半導體真空泵介紹

（半導體真空泵）Edwards愛德華真空泵IXH系列型號包括：IXH100、IXH200、IXH200H，IXH500H，IXH500Q，IXH610、IXH645H，IXH1210，IXH1210H，IXH1220H。

（半導體真空泵）Edwards愛德華真空泵IH系列型號包括：IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800

（半導體真空泵）Edwards愛德華真空泵IQDP系列型號包括： IQDP40、IQDP80

（半導體真空泵）Edwards愛德華真空泵QDP系列型號包括： QDP40、QDP80