萊寶磁懸浮分子泵 MAG integra

萊寶磁懸浮分子泵 MAG integra

1.1設(shè)計(jì)和功能

渦輪分子泵基本包括泵殼、多級(jí)轉(zhuǎn)子以及成套定子、驅(qū)動(dòng)器以及磁懸浮軸承。

轉(zhuǎn)子

轉(zhuǎn)子采用合金鋁制造，包括渦輪級(jí)和Holweck級(jí)。

磁懸浮軸承

MAG有內(nèi)置精密5軸定位磁懸浮軸承，轉(zhuǎn)子懸掛在免維護(hù)的磁懸浮軸承上。

這種軸承原理使分子泵可以任意角度安裝并保證了運(yùn)行的振動(dòng)非常低。磁懸浮軸承運(yùn)行不需要任何油脂潤(rùn)滑從而保證了超級(jí)清潔的真空。

保護(hù)軸承

保護(hù)軸承用于在運(yùn)行期間發(fā)生沖擊時(shí)使轉(zhuǎn)子保持機(jī)械穩(wěn)定。只有在有強(qiáng)振動(dòng)或者電子元件有故障時(shí)，才使用保護(hù)軸承。

電源電壓中斷后，渦輪分子泵用作發(fā)電機(jī)向變頻器供電。轉(zhuǎn)子減速達(dá)到大約100赫茲，然后降落到保護(hù)軸承。

MAG采用水冷，可以配置保護(hù)氣/破空閥。受控同步電動(dòng)機(jī)用于為轉(zhuǎn)子提供動(dòng)力。

變頻器

電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電壓和磁懸浮軸承運(yùn)行電壓由MAGDRIVEiM變頻器提供。它還自動(dòng)監(jiān)控這